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초점 노출 행렬이라고도 하는 보붕형 데이터 세트를 장착할 수 있는 미세석화 데이터 분석 패키지입니다.키워드: 리소그래피, 포토리소그래피, 포토레지스트, 프로세스 창, 임계 치수, CD, 보붕, FEM