초점 노출 행렬이라고도 하는 보붕형 데이터 세트를 장착할 수 있는 미세석화 데이터 분석 패키지입니다. 키워드: 리소그래피, 포토리소그래피, 포토레지스트, 프로세스 창, 임계 치수, CD, 보붕, FEM
버전 기록
- 버전 N/A 에 게시 2011-08-11
몇 가지 수정 및 업데이트 - 버전 N/A 에 게시 2011-08-11
프로그램 세부 정보
- 범주: 개발 > 다른
- 게시자: freedata.sf.net
- 라이센스: 무료
- 가격: N/A
- 버전: Array
- 플랫폼: windows